실리콘 플라즈마표면처리 소개

무정형/결정성 실리콘 이종계의 수소 플라즈마 사후 증착 처리는 추가로 조사됩니다. 기판 온도, 가스 압력, 플라즈마 전력 밀도, 흥분 주파수 및 전극과 기판 사이의 거리를 포함한 특정 플라즈마 공정 파라미터의 영향을 검사합니다. 수소 플라즈마 단계 후 의 통과 품질은 플라즈마 내의 원자 수소의 밀도와 인터페이스에 충분한 수소 확산에 따라 다름입니다. 기판 거리로 전극의 변화는 수소의 주입이 비정질 층의 건조 에칭을 동반한다는 것을 보여준다. 음절의 질에 도달하기 위해서는 일정량의 수소를 도입하고 동시에 비정질 실리콘의 에칭으로 인한 손상을 제한하고 태양전지 적용을 위한 올바른 비정질 실리콘 필름 두께를 유지해야 합니다.

연구팀은 플라즈마 처리를 사용하여 플루오로폴리머와 실리콘 수지가 접착제 없이 부착되도록 했습니다. 열 보조 헬륨 플라즈마 처리는 PTFE 또는 PFA에 산소 함유 기능 그룹을 생성하고, 야외 플라즈마 제팅은 저속한 PDMS에 실라놀 그룹을 설치했습니다. 압력하에서, 처리된 PDMS는 사리놀의 공유 및 수소 결합을 통해 처리된 폴리머, 구리 및 유리를 강하게 부착하였다. 접착효과가 없는 유착을 통해 수지와 폴리머는 식품 및 의약품 산업에서 사용할 수 있습니다.

실리콘 표면을 통과하여 우수한 결과를 제공합니다. 특히, 우리는 진공을 깨지 않고 수소 무정형 실리콘 카바이드 (a-SiCx:H)(a-SiCx:H) 증착 직전에 수소 플라즈마 처리의 사용을 조사했습니다. 우리는 준 정상 상태 광전도 기술을 통해 효과적인 수명, θeff, θeff를 측정했습니다. 실험 결과에 따르면 수소 플라즈마 처리는 고전적인 HF 딥에 비해 표면 패시베이션을 향상시킵니다.

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